- Gegenstand: BMFT-Verbundprojekt mit Verbundpartnern
- Begriffsdefinition: FASENS = Frequenzanaloge Sensoren
- Sensorarten: Resonante Druck- und Kraft-Sensoren, Strömung, etc.
- Anregung: piezoelektrischer Antrieb (ZnO-Dünnschicht, PZT-Keramik, bzw. Quarz-Technologie)
- optische Messungen mit POLYTEC-Laservibrometer (OFV1102 HR): https://www.polytec.com/de
- elektrische Impedanz/GAIN-PHASE Messungen: https://www.keysight.com/us/en/product/4194A/impedancegainphase-analyzer.html
- an piezoelektrisch angeregten Silizium-Strukturen (Silicon)
- mit Hilfe piezoelektrischer Dünnschichten (ZnO) und Piezo-Keramiken (PZT)
- https://tfconsult.com/tag/bmft/
- https://tfconsult.com/tag/FASENS/
- https://tfconsult.com/verbundforschung-mikrosystemtechnik/
- https://tfconsult.com/experimentelle-verifikation/
- https://tfconsult.com/verbundforschung-frequenzanaloge-sensoren/
- https://tfconsult.com/schwingungsmessung-an-mikromechanischen-bauelementen/